超快激光精密加工系统
产品特点
- 超短脉冲激光材料加工为冷加工，不会在加工区域形成热影响区域
- 高精度平台
- 同轴旁轴视觉定位系统
- 独立研发加工控制软件
系统参数
| 波长 | 355nm、532nm、1064nm可调 |
| 能量 | 5~500mj |
| 频率 | 50~1Khz |
| 运动系统精度 | ±3μm |
| 脉宽 | 300fs~80ps |
| 加工精度 | 200nm |
产品应用
- 透明材料精密加工
- 陶瓷精密加工
- 脆性材料精密加工
- 薄膜&表面材料的分离/去除
加工样品
蓝宝石灯丝切割
厚度：0.4mm
精度：±0.005mm
厚度：0.4mm
精度：±0.005mm
氮化铝陶瓷打孔
孔径：0.08mm
精度：±0.002mm
孔径：0.08mm
精度：±0.002mm
钢膜剥离
钢膜厚度：0.1mm
精度：±0.005mm
钢膜厚度：0.1mm
精度：±0.005mm
蓝宝石异形切割与打孔
切割速度：200mm/s
粗糙度：Ra<700nm
切割速度：200mm/s
粗糙度：Ra<700nm
镀金硅切割
厚度：0.4mm
精度：±0.002mm
厚度：0.4mm
精度：±0.002mm
材料分离
PI厚度：0.05mm
PE厚度：0.02mm
PI厚度：0.05mm
PE厚度：0.02mm
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