产品描述 该系统由激光系统、光路系统、精密运动平台系统及高精度控制软件组成，主要应用于Al2O3、Si3N4、AlN等陶瓷材料的高精度划线。 产品特点 进口激光器，光斑质量好、寿命长、状态稳定 可根据客户需求定制多头加工 适用材料广泛 支持G代码或者图形导入 运动平台精度高，拥有同轴/旁轴视觉定位系统 产品参数 加工线宽 ≤0.06mm 划线深度 基片厚度 40%~70% 划片速度 氧化铝 60~150mm/s 氮化铝 40~120mm/s 运动系统精度 ±3μm
