准分子激光精密加工系统
产品描述
准分子激光精密加工系统是以紫外、深紫外波段激光配合定制化的光路整形系统，可应用于半导体、显示及微电子行业的光刻、蒸镀、蚀刻、退火、表面处理、剥离、检测等不同工艺。
产品特点
- 激光器稳定、寿命长
- 加工精度高
- 高精度运动平台
- 平顶均匀分布光斑
- 适合多种半导体工艺
- 高度自动化集成
系统参数
| 波长 | 308nm、248nm、193nm |
| 功率 | 1200W |
| 重复频率 | 300Hz |
| 加工精度 | ±1μm |
| 晶圆尺寸 | 2/4/8/12inch |
产品应用
- LED/OLED wafer划线/烧蚀/剥离
- 生物医学微电路加工
- 聚合物喷墨嘴加工
- 陶瓷微流器件加工
- 太阳能电池薄膜加工
样品展示
- 材料：LED & OLED面板
- 加工速度：＞150mm/s
- 用途：晶圆切割、划线、剥离、烧蚀
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